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晶圆专用接触角测量仪的测试效果

发布时间:2023-07-21 点击次数:579

  北斗仪器晶圆专用接触角测量仪专为晶圆深度定制的一台全自动接触角测量仪,广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究,是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。晶圆接触角测量仪采用先进的专用CCD数字摄像机,配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统,搭配三维样品台,可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。仪器框架可以根据式样的大小适量调节,扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能,测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下,能让用户更好的对材料数据进行管控。该仪器设计美观大方、操作简单、符合用户所需。

  晶圆表面分析检测测量系统、晶圆表面张力分析系统适用于半导体晶圆(Wafer)工艺的质量控制。提供晶圆表面的快速并准确的接触角/表面能分析,从而评估粘性,洁净度及镀膜。 采用轻量化的设计、组装方便和最新的基于 Windows标准的用户友好型软件,以创建一个即精准容又容易使用的接触角测量仪系统。注射滴液机制可以抬起便于装载,消除了对晶圆 可能产生的损坏。用于晶圆表面分析,同时也可用于其它需要测量较大体积样件的分析应用。

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晶圆接触角测量仪优势:

1.样品台专为晶圆设计,可适应6-12寸的晶圆,具备四向对中功能。

2.矩阵型多点测试,测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。

3.一次测试点位多达50+可在原图上直接显示数据并保存。

4.测试结果可直接保存在阵列图上。

5.批量方案设置功能,可保存多个测量方案,一次保存,终身无需再设定。可随时调取。


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